走査型電子顕微鏡・エネルギー分散型X線分析
Scanning Electron Microscopy (SEM)・Energy Dispersion X-ray Spectrometry (EDS)

走査電子顕微鏡は、試料に電子線を照射した際に発生する二次電子信号をモニター上で画像化する装置であり，10nm単位の高倍率・高解像度の画像を得ることができる。また、エネルギー分散型Ｘ線分光器は、試料に電子線を照射した際に発生する特性Ｘ線を検出し，含有元素の定性と定量することができる。試料の分析が比較的容易である。


走査型電子顕微鏡・エネルギー分散型X線分析装置
（日本電子：JSM-5500LV）